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다구찌 방법을 이용한 고속/정밀 위치제어시스템의 PID 제어게인 선정에 관한 연구
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  • 다구찌 방법을 이용한 고속/정밀 위치제어시스템의 PID 제어게인 선정에 관한 연구
저자명
신호준,채호철,한창수
간행물명
한국반도체장비학회지
권/호정보
2002년|1권 1호|pp.21-28 (8 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents a dynamic modeling and a robust PID controller design process for the wire bonder head assembly. For modeling elements, the system is divided into electrical part, magnetic part, and mechanical part. Each part is modeled using the bond graph method. The PID controller is used for high speed/high accuracy position control of the wire bonder assembly. The Taguchi method is used to obtain the more robust PID gain combinations than conventional one. This study makes use of an L18 array with three parameters varied on three levels. Results of simulations and experimental show that the designed PID controller provides a improved ratio of signal to noise and a reduced sensitivity improved to the conventional PID controller.