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솔-젤법에 의해 제작된 $TiO_2-$SnO_2$ 박막의 특성
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  • 솔-젤법에 의해 제작된 $TiO_2-$SnO_2$ 박막의 특성
저자명
류도현,육재호,임경범,You. Do-Hyun,Yuk. Jae-Ho,Lim. Kyung-Bum
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2002년|51권 11호|pp.511-516 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$TiO_2-SnO_2$ thin films are fabricated using sol-gel method. In case the amount of water required hydrolysis smaller than that for stoichiometry, Ti sol forms clear sol which has normal chain structure. On the contrary, in case the amount of water required hydrolysis larger than that for stoichiometry, Ti sol forms suspended sol which has cluster structure. The thickness of thin films increase about $0.03{sim}0.04{mu}m$ every a dipping. The permittivity and dissipation factor of $TiO_2-SnO_2$ thin films decrease with increasing frequency. Thin films show semiconductive characteristics above $400^{cric}C$.