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산 증식형 포토레지스트로 Poly($MTC_{10}-co-tBMA_{90}$)의 합성 및 특성 연구
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  • 산 증식형 포토레지스트로 Poly($MTC_{10}-co-tBMA_{90}$)의 합성 및 특성 연구
  • Poly[(1-methacryloyloxy-4-tosyloxycyclohexane)-co-(tert-butyl methacrylate)] as an acid amplifying photoresist
저자명
권경아,이은주,임권택,정용석,정연태,Kuen. Kyoung-A,Lee. Eun-Ju,Lim. Kwon-Taek,Jeong. Yong-Seok,Jeong. Yeon-Tae
간행물명
한국인쇄학회지
권/호정보
2002년|20권 2호|pp.131-140 (10 pages)
발행정보
한국인쇄학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Chemically amplified deep UV(CA-DUV) resists are typically based on a combination of an acid labile polymer and a photoacid generator(PAG) but acid amplification type photoresist is formulated by addition of the acid amplifiers to chemically amplified resist system(CAPs). We developed acid amplifiers base on cyclohexanediol such as 1-methacryloyloxy-4-tosyloxy cyclohexane(MTC) and poly(MTC$_{10}$-co-tBMA$_{90}$)(P-1) to enhance photosensitivity. P-1 is a copolymer of tert-butyl methacrylate and MTC as a positive working photoresist based on polymeric acid amplifier in order to enhance photosensitivity and simplify the process of fomulating a photoresist. P-1 exhibited 2X higher photosensitivity compared with PtBMA. The acid amplifiers showed reasonable thermal stability for resist processing temperature and higher photosensitivity compared with chemically amplified resist.