저전압(~1 ㎸)에서 구동되어 수 ㎁의 전류를 얻을 수 있는 초소형 전자 칼럼(microcolumn) 설계를 위한 프로브(probe) 빔의 직경이 최소가 되는 전자 광학계의 조건을 조사하였다. 프로브 빔의 최소 직경은 전자 방출원의 특성에 의존하는데, 동일 조건의 광학계에 대하여 thermal field emitter(TFE)인 경우 ~20 ㎚인 반면 cold field emitter(CFE)인 경우 ~10 ㎚인 것으로 조사되었다.
We examine the adjustment of the semiconvergent angle and current for the miniaturized micro column working at low voltage but producing maximized current. Our study shows that the minimum electron beam sizes are 10 ㎚ for the cold field emitter (CFE) and 20 ㎚ for the thermal field emitter (TFE) at a given condition.
