광 도파로를 따라 전파하는 빛의 특성을 측정하기 위해 근접장 주사 광학현미경(Near-field scanning optical microscope, NSOM)으로 광 도파로의 표면에 형성된 에바네슨트 파 evanescent wave)의 분포를 측정하였다. 사용된 NSOM은 photon scanning tunneling microscope방식으로 본 연구의 목적에 적합하도록 직접 제작한 것이다. 광원 파장 1550㎚에서 단일 모드 다중 모드 채널형 광 도파로에 대해 도파로 표면에 형성된 에바네슨트 파의 분포를 측정하였으며, 3차원 빔전파방법(Beam Propagation Method)으로 계산된 수치 해석 결과와 두 모드 간의 간섭 형상을 직접적으로 확인할 수 있었다.
The propagation characteristic of an optical waveguide was investigated by measuring with a near-field scanning optical microscope (NSOM) the evanescent field formed at the neighbor of its core-cladding interface. For this purpose, the NSOM system was developed specially as a form of Photon scanning tunneling microscope. The evanescent field distributions of several channel waveguides were measured at the wavelength of 1550 ㎚, and the usefulness of the system was verified by comparing experimental results with simulation results. In particular, the interference phenomena of the guided modes during their propagation along a multimode channel waveguide could be observed directly from the measured evanescent field distribution.
