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Fatigue characteristics of $Pb(Zr,Ti)O_3$ capacitors on donor doping
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  • Fatigue characteristics of $Pb(Zr,Ti)O_3$ capacitors on donor doping
  • Fatigue characteristics of $Pb(Zr,Ti)O_3$ capacitors on donor doping
저자명
Yang. Bee Lyong
간행물명
열처리공학회지
권/호정보
2002년|15권 3호|pp.113-117 (5 pages)
발행정보
한국열처리공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Fatigue characteristics of ferroelectric $Pb(Zr,Ti)O_3$ (PZT) based capacitors through donor doping is reported in this paper. La substitution up to 10% were carried out to study systematically the fatigue behaviors of epitaxial ferroelectric capacitors grown on Si using $(Ti_{0.9}Al_{0.1})N/Pt$ conducting barrier composite. Ferroelectric capacitors substituted with 10% La show sufficient low voltage switched polarization and fatigue free performance. Systematic decrease in the tetragonality of the ferroelectric phase (i.e., c/a ratio) results in the corresponding reduction in coercive voltage, sufficient remnant polarization at 1.5-3V, and good fatigue property.