- 반도체 노광공정에 이용되는 엑시머 레이저의 기술 현황 및 시장 동향
- ㆍ 저자명
- 이형권
- ㆍ 간행물명
- 광학세계
- ㆍ 권/호정보
- 2002년|14권 3호|pp.51-53 (3 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학기기협회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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2002년 초에 Dataquest에 의해 발표된 시장전망에 의하면, 2003년 이후 3$~$4년간 엑시머 레이저를 이용한 DUV 노광장비 시장은 큰 폭으로 확대될 것으로 전망하고 있으며, DRAM 수요의 증가와 12인치(300mm) 공정의 가속화가 그 예상을 뒷받침 하고 있다. 특히, KrF엑시머 레이저 공정 이후에 도입될 ArF엑시머 레이저 시장의 확대가 주목된다.