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Al2O3 Coating and Filling of Carbon Nanotubes
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  • Al2O3 Coating and Filling of Carbon Nanotubes
  • Al2O3 Coating and Filling of Carbon Nanotubes
저자명
Lee. Jong-Soo,Min. Byung-Don,Kim. Sang-Sig
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2003년|4권 4호|pp.1-6 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Aluminum oxide ($Al_2O_3$) nanotubes and nanorods were fabricated by coating and filling of multiwalled carbon nanotubes (MWNTs) with atomic-layer deposition (ALD). $Al_2O_3$ material was deposited on the MWNTs at a substrate temperature of $300^{circ}C$ using trimethylaluminum and distilled water. Transmission electron microscopy, high resolution transmission electron microscopy, energy-dispersive X-ray spectroscopy, and selected area electron diffraction of the deposited MWNTs revealed that amorphous $Al_2O_3$ material coats the MWNTs conformally and that this material fills the inside of the MWNTs. These illustrate that ALD has an excellent capability to coat and fill any three-dimensional shapes of MWNTs conformally without producing any crystallites.