기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
펄스 레이저 증착법에 의해 제작된 ZnO-Si-ZnO 다층 박막의 특성 연구
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 펄스 레이저 증착법에 의해 제작된 ZnO-Si-ZnO 다층 박막의 특성 연구
저자명
강홍성,강정석,심은섭,방성식,이상렬
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2003년|16권 1호|pp.65-69 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

ZnO-Si-ZnO multi-layer thin films have been deposited by pulsed laser deposition (PLD). And then, the films have been annealed at 300$^{circ}C$ in oxygen ambient pressure. Peak positions of ultraviolet (UV) and visible region were changed by addition of Si layer. Mobility of the films was improved slightly than ZnO thin film without Si layer. The structural property changed by inserting intermediate Si layer in ZnO thin film. The optical properties and structural properties of ZnO-Si-ZnO multi-layer thin films were characterized by PL(Photoluminescence) and XRB(X-ray diffraction) method, respectively. Electrical properties were measured by van der Pauw Hall measurements