- 병렬분기 방법을 이용한 박막 나선 인덕터의 Q 인자 향상
- ㆍ 저자명
- 서동우,민봉기,강진영,백문철
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|16권 1호|pp.83-87 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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In the present paper we suggested a parallel branch structure of aluminum spiral inductor for the use of RF integrated circuit at 1∼3 GHz. The inductor was implemented on p-type silicon wafer (5∼15Ω-cm) under the standard CMOS process and it showed a enhanced qualify(Q) factor by more than 10 % with no degradation of inductance. The effect of the structure modification on the Q factor and the inductance was scrutinized comparing with conventional spital inductors