- UV노광 공정 도입이 Sol-gel 법으로 제조된 Sr0.9Bi2.1Ta2O9박막의 결정화에 미치는 영향
- ㆍ 저자명
- 최병옥,김병호
- ㆍ 간행물명
- 한국세라믹학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|40권 2호|pp.184-190 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국세라믹학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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광감응성 sol-gel 용액을 사용하여 spin coating법으로 $IrO_2$전극 위에 $Sr_{0.9}$$Bi_{2.1}$$Ta_2$$O_{9}$ 박막을 성막하였다. UV 노광이 SBT 박막에 어떤 영향을 미치는지 알아보기 위해 UV 노광을 한 시편과 하지 않은 시편을 XRD 및 SEM로 분석한 결과 UV 노광이 SBT 결정성장을 촉진함을 확인할 수 있었다. UV 노광을 하고 $740^{circ}C$ 산소분위기에서 1시간 로열처리 한 SBT 박막의 경우 2Pr 값은 5V 인가전압하에서 11.48$mu$C/$ extrm{cm}^2$, Pr/Ps 값은 0.53이었고 660-$740^{circ}C$에서 UV 노광을 하지 않은 시편에 비해 UV 노광을 한 시편들에서 약 12% 높은 2Pr 값을 얻었다.
$Sr_{0.9}Bi_{2.1}Ta_2O_9$thin films were deposited on $IrO_2$ electrode by spin coating method using photosensitive sol-gel solution. To ensure the UV-exposure effect on SBT thin films, UV irradiated films and non-UV irradiated films were analyzed by XRD, SEM. As a result, UV-irradiation on SBT thin films promoted grain growth of SBT compared with no UV irradiation. In case of the UV irradiated films annealed at$740{circ}C$for 1 h in an oxygen ambient, the 2Pr value and Pr/Ps at${pm}5$V were$11.48{mu}C/cm^2$and 0.53, respectively. 2Pr values of the UV irradiated SBT thin films at<TEX>$660-740{circ}C were approximately 12% higher than those of non-UV irradiated thin films.