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Magnetically Suspended Contact-Free Linear Actuator for Precision Stage
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  • Magnetically Suspended Contact-Free Linear Actuator for Precision Stage
  • Magnetically Suspended Contact-Free Linear Actuator for Precision Stage
저자명
Lee. Sang-Heon,Baek. Yoon-Su
간행물명
KSME international journal
권/호정보
2003년|17권 5호|pp.708-717 (10 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

With the development of precision manufacturing technologies, the importance of precision positioning devices is increasing. Conventional actuators, dual stage or mechanically contacting type, have limitation in coping with performance demands. As a possible solution, magnetic suspension technology was studied. Such a contact-free system has advantages in terms of high accuracy, low production cost and easy adaptability to high precision manufacturing processes. This paper deals with magnetically suspended multi-degrees of freedom actuator which can realize large linear motion. In this paper, the operating principle is explained with the magnetic force analysis, and the equations of motion are derived. Experimental results of the implemented system are also given.