- 실리콘 전력 MOSFET의 온도 관련 항복 전압과 ON 저항을 위한 해석적 표현
- ㆍ 저자명
- 정용성
- ㆍ 간행물명
- 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|40권 5호|pp.290-297 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
전자와 정공의 온도 관련 이온화 계수로부터 추출한 온도 함수의 유효 이온화 계수 및 전자 이동도를 이용하여 실리콘 전력 MOSFET의 항복 전압과 on 저항을 위한 온도 함수의 해석적 표현식을 유도하였다. 온도 함수의 해석적 항복 전압 결과를 4x1014 cm-3, 1x1015 cm-3, 6x1016 cm-3의 도핑 농도에 대해 각각 실험 결과와 비교하였고, 온도 및 항복 전압 함수의 on 저항 변화도 각각 실험 결과와 비교하였다. 각농도에 따른 온도 함수의 해석적 항복 전압은 77∼300k의 온도 범위에서 실험 결과와 10% 이내의 오차로 잘 일치하였다.
Analytical Expressions of temperature dependent breakdown voltage and on-resistance for silicon power MOSFETs are induced by employing the temperature dependent effective ionization coefficient extracted from temperature dependent ionization coefficients for electron and hole, and electron mobility in silicon. The analytical results for temperature dependent breakdown voltage are compared with experimental results for tile doping concentration, 4x10$^{14}$ cm$^{-3}$ , 1x10$^{15}$ cm$^{-3}$ , 6x10$^{16}$ cm$^{-3}$ respectively. The variations of temperature dependent on-resistance and breakdown voltage dependent ideal specific on-resistance are also compared with the ones reported previously. Good fits with the experimental results ate found for the breakdown voltages within 10% in error for the temperature in the range of 77~300K at each doping concentration.