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극미세 교류 플라즈마 내에서의 홀 효과를 이용한 마이크로 자기센서
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  • 극미세 교류 플라즈마 내에서의 홀 효과를 이용한 마이크로 자기센서
저자명
서영호,한기호,조영호,Seo. Young-Ho,Han. Ki-Ho,Cho. Young-Ho
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2003년|27권 8호|pp.1266-1272 (7 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents a new class of magnetic microsensors based on the Hall effect in AC microplasma. In the theoretical study, we develop a simple model of the plasma Hall sensor and express the plasma Hall voltage as a function of magnetic field, plasma discharge field, pressure, and electrode geometry. On this basis, we have designed and fabricated magnetic microsensors using AC neon plasma. In the experiment, we have measured the Hall voltage output of the plasma microsensors for varying five different conditions, including the frequency and the magnitude of magnetic field, the frequency and the magnitude of plasma discharge voltage, and the neon pressure. The fabricated magnetic microsensors show a magnetic field sensitivity of 8.87${pm}$0.18㎷/G with 4.48% nonlinearity.