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반절연 갈륨비소의 적외선 영상에 의한 웨이퍼성장조건 및 온도종속 퀀칭율 증명
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  • 반절연 갈륨비소의 적외선 영상에 의한 웨이퍼성장조건 및 온도종속 퀀칭율 증명
저자명
강성준
간행물명
電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체
권/호정보
2003년|40권 7호|pp.469-473 (5 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

적외선 영상기법을 이용해 반절연 GaAs 기판 내의 EL2 영상에 대한 Photoquenching의 영향을 성장원상태(as-grown)의 샘플과 열처리 샘플을 중심으로 분석하였다. 본 논문에서 Quenching 메커니즘은 샘플에 의존적이고 또한 Quenching율은 샘플의 성장조건과 Quenching 온도에 따라 다르다는 것을 영상적으로 정확히 증명하고 있는데 이 기존의 연구내용과는 다소 상충된 새로운 내용이다.

기타언어초록

The effect of photoquenching on infrared image of the EL2 center in semi-insulating(S.I.) GaAs has been studied using near infrared transmission techniques. Particular interest is devoted to as-grown and annealed samples of undoped S.I. GaAs. It is found that the quenching mechanism is different in each sample and also the quenching rate is dependent on the materials and the quenching temperature which is somewhat inconsistent with other existing publications.