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PLD법으로 제작된 xPb(Al0.5Nb0.5)O3-(1-x)Pb(Zr0.52Ti0.48)O3박막의 유전 및 압전 특성
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  • PLD법으로 제작된 xPb(Al0.5Nb0.5)O3-(1-x)Pb(Zr0.52Ti0.48)O3박막의 유전 및 압전 특성
저자명
김민철,박용욱,최지원,강종윤,안병국,김현재,윤석진
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2003년|16권 9호|pp.795-800 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The dielectric and piezoelectric properties of the xPb(A $l_{0.5}$N $b_{0.5}$) $O_3$-(1-x)Pb(Z $r_{0.52}$ $Ti_{0.48}$) $O_3$ [xPAN-(1-x)PZT] thin films by pulsed laser deposition (PLD) were investigated as a function of PAN contents. The effect of texture on dielectric and piezoelectric properties of the 0.05PAN-0.95PZT thin films having the highest piezoelectric constant( $d_{33}$) was studied more precisely. For 0$leq$x$leq$0.15 compositions in xPAN-(1-x)PZT thin films, the well-developed perovskite phase with (111) preferred orientation was obtained at the deposition temperature of 50$0^{circ}C$. With increasing PAN content, remanent polarization and coercive field decreased. The dielectric constant increased with an increase of PAN content until it reached 1450 at $chi$= 0.05, and then decreased for higher PAN content. The maximum points of dielectric constant coincides with the maximum points of the piezoelectric constant $d_{33}$.33/.33/././.