- 저전압 고주파 MEMS 스위치
- ㆍ 저자명
- 서용교,최영식
- ㆍ 간행물명
- 한국해양정보통신학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|7권 5호|pp.1038-1043 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국해양정보통신학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
Capacitive-coupled 구조의 RF MEMS 스위치를 설계하여 제작하였으며, 특성을 측정하였다. 낮은 구동 전압은 membrane과 신호선 사이의 간격을 작게 만들어 구현하였다. 제작된 스위치의 구동 전압은 최저 11V이며, 2GHz에서 측정한 고주파 특성은 삽입 손실이 0.2dB이고 절연 특성은 40dB이다.
A capacitive-coupled configuration MEMS switch is designed and fabricated, and its characteristics are measured. Low actuation voltage has been achieved by means of small distance between signal line and membrane. Minimum actuation voltage is about 11V. Isolation is around 40dB and insertion loss is about 0.2dB at 2GHz.