- LTCC RF 모듈용 $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 세라믹스의 저온소결 및 마이크로파 유전특성
- ㆍ 저자명
- 신동순,최영진,박재환,남산,박재관
- ㆍ 간행물명
- 마이크로전자 및 패키징 학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|10권 1호|pp.57-63 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국마이크로전자및패키징학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
$BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 유전체 세라믹스에 lithium borosilicate계 유리를 첨가하여 저온소결특성과 마이크로파 유전특성을 조사하였다. 유리 프릿을 10∼l3 wt%의 범위로 첨가함으로서 순수한 $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 세라믹스의 소결온도($1300^{circ}C$)보다 현저히 낮은 850∼$900^{circ}C$의 온도범위에서 상대밀도 97%이상의 소결체를 얻을 수 있었다. 10 wt%의 유리 프릿을 첨가함으로서 85$0^{circ}C$의 소성온도에서 유전율($epsilon_r$)54 및 품질계수($Q{ imes}f$)2400 GHz그리고 공진주파수의 온도계수($ au_f$)는 $+8ppm/^{circ}C$으로서 우수한 유전 특성을 가지는 소결체를 얻을 수 있었다.
The effects of glass addition on the low-temperature sintering and microwave dielectric properties of $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$ dielectric ceramics were studied. When 10∼13 wt% of lithium borosilicate glass was added, the sintering temperature decreased from 130$0^{circ}C$to 850-$900^{circ}C$relative density of more than 97% was obtained. When the sample was sintered at $850^{circ}C$ with 10 wt% of glass, the dielectric properties of $epsilon_r{ge}54$, $Q{ imes}f_0{ge}2300$, and $ au_f{ge}+8ppm/^{circ}C$ were obtained.