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Fabrication of a Hydrogenated a-Si Photodiode
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  • Fabrication of a Hydrogenated a-Si Photodiode
  • Fabrication of a Hydrogenated a-Si Photodiode
저자명
Hur. Chang-Wu
간행물명
International journal of maritime information and communication sciences
권/호정보
2003년|1권 1호|pp.23-26 (4 pages)
발행정보
한국해양정보통신학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A photodiode capable of obtaining a sufficient photo/dark current ratio at both a forward bias state and a reverse bias state is proposed. The photodiode includes a glass substrate, an aluminum film formed as a lower electrode over the glass substrate, an alumina film formed as a schottky barrier over the aluminum film, a hydrogenated amorphous silicon film formed as a photo conduction layer over a portion of the alumina film, and a transparent conduction film formed as an upper electrode over the hydro-generated amorphous silicon film. Growth of high quality alumina($Al_{2}O_{3}$) film using anodizing technology is proposed and analyzed by experiment. We have obtained the film with a superior characteristics