- Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 측정 및 분석
- Measurement and analysis of recoil force during Nd-YAG laser ablation of silicon
- ㆍ 저자명
- 이동준,정성호
- ㆍ 간행물명
- 한국레이저가공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|6권 3호|pp.11-17 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국레이저가공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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