기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 측정 및 분석
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 측정 및 분석
  • Measurement and analysis of recoil force during Nd-YAG laser ablation of silicon
저자명
이동준,정성호
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2003년|6권 3호|pp.11-17 (7 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Recoil force exerted on the substrate during a nanosecond laser ablation of silicon is measured. The ablation sample is placed at the end of a 400 $mu extrm{m}$ thick and 13 mm long silicon cantilever. The vibration amplitude of the cantilever induced by the recoil force is measured in real time with a probe beam. By comparing the deflection amplitude of the cantilever with a theoretical model, the recoil momentum is estimated. For laser irradiance in the order of 10$^$11/ W/$ extrm{cm}^2$, the recoil pressure reached a value over 40${ imes}$10$^$9/ Pa.