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비연성 수직형 마이크로 자이로스코프의 구조해석 및 최적설계
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  • 비연성 수직형 마이크로 자이로스코프의 구조해석 및 최적설계
저자명
박성균,정희문,김명훈,김형태,하성규,Park. Sung-Kyoon,Jeong. Hee-Moon,Kim. Myung-Hoon,Kim. Hyung-Tae,Ha. Sung-Kyu
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2003년|27권 11호|pp.1840-1848 (9 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents the structural analysis and optimum design of a vertical micro-gyroscope with decoupled 2 degrees of freedom (DOF), driven by electrostatic force. Simplified beam models were presented to derive the structural stiffness of the driving spring of the U shape and the sensing spring of I shape. A finite element analysis (FEA) was performed to validate each derivation. A total mass and a polar mass moment of inertia were also obtained and used in calculating the resonance frequency at each mode of the 2 DOF. The resonance frequencies of the total system were calculated using the proposed models and it has been found that they were in excellent agreement with those of the FEA. Finally, the developed analysis program was then linked to an optimum design module, and an optimum design of the micro-gyroscope was successfully performed.