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Influence of the Precursor Solutions on the Properties of BST Thin Films
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  • Influence of the Precursor Solutions on the Properties of BST Thin Films
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저자명
Kang. Seong-Jun,Joung. Yang-Hee
간행물명
International journal of maritime information and communication sciences
권/호정보
2003년|1권 2호|pp.70-73 (4 pages)
발행정보
한국해양정보통신학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have studied the effects of solvents and additives in the precursor solutions on the characteristics of barium strontium titanate (BST) thin films. The solution having two solvents, ie. acetic acid for barium acetate and strontium acetate and 2-methoxyethanol for titanium isopropoxide and also having an additive of ethylene glycol shows good stability and remains homogeneous even after a month of ageing. It produces excellent BST thin film without cracks. Dielectric constant, loss tangent at 10KHz and leakage current density at 3V of the BST (70/30) thin film made from this solution are 339, 0.052 and 13.3 ${mu} extrm{A}$/$ exmrm{cm}^2$, respectively.