- Role of Magnetic Field Configuration in a Performance of Extended Magnetron Sputtering System with a Cylindrical Cathode
- Role of Magnetic Field Configuration in a Performance of Extended Magnetron Sputtering System with a Cylindrical Cathode
- ㆍ 저자명
- Chun. Hui-Gon,Sochugov. Nikolay S.,You. Yong-Zoo,Soloviv. Andrew A.,Zakharov. Alexander N.
- ㆍ 간행물명
- 한국반도체장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|2권 3호|pp.19-23 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
