- Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구
- A Study on the FEM Analysis and Gripping Force Control of End-Effector for the Wafer Handling Robot System
- ㆍ 저자명
- 권오진,최성주,이우영,이강원,박원규
- ㆍ 간행물명
- 한국반도체장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|2권 3호|pp.31-36 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
