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Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구
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  • Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구
  • A Study on the FEM Analysis and Gripping Force Control of End-Effector for the Wafer Handling Robot System
저자명
권오진,최성주,이우영,이강원,박원규
간행물명
한국반도체장비학회지
권/호정보
2003년|2권 3호|pp.31-36 (6 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

On this study, an E.E(End-Effector) for the 300 mm wafer transfer robot system is newly suggested. It is a mechanical type with $180^{circ}$ rotating ranges and is composed of 3-point arms, two plate springs and single-axis DC motor controlled by microchip. To design, relationship between the gripping force and the wafer deformation is analyzed by FEM. By analytic results, the gripping force for 300 mm wafer is confirmed as 255~274 gf. From experimental results on gripping force, repeatable position accuracy and gripping cycle times in a wafer cleaning system, we confirmed that the suggested E.E was well designed to satisfiy on the required performance for 300 mm wafer transfer robot system.