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플라즈마 챔버의 특성 분석 및 최적 설계를 위한 가상의 시뮬레이션 환경 개발
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  • 플라즈마 챔버의 특성 분석 및 최적 설계를 위한 가상의 시뮬레이션 환경 개발
저자명
김헌창,설용태
간행물명
한국반도체장비학회지
권/호정보
2003년|2권 4호|pp.9-12 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes a newly developed simulation environment for analysis and design of a plasma processing chamber based on first principles including complicated physical and chemical interactions of plasma, fluid dynamics of neutrals, and transport phenomena of particles. Capabilities of our simulator, named VIP-SEPCAD (Virtual Integrated Prototyping Simulation Environment for Plasma Chamber Analysis and Design), are demonstrated through a two dimensional simulation of an oxygen plasma chamber. VIP-SEPCAD can provide plasma properties such as spatiotemporal profiles of plasma density and potential, electron temperature, ion flux and energy, etc. By coupling neutral and particle transport models with a three moment plasma model, VIP-SEPCAD can also predict spatiotemporal profiles of chemically reactive species and particles exist in plasma.