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Ellipsometry에서의 Calibration 및 입사면 고정형 Ellipsometer
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  • Ellipsometry에서의 Calibration 및 입사면 고정형 Ellipsometer
  • Calibration and a Plane of Incidence Fixed Ellipsometer
저자명
경재선,오혜근,안일신,김옥경
간행물명
한국반도체장비학회지
권/호정보
2003년|2권 4호|pp.23-26 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The general users find difficulties in using ellipsometers. Thus, the object of this study is to construct an ellipsometer with simple operation principle. We developed an ellipsometer which does not require alignment and calibration before measuring sample. A basis structure model after rotating a compensator spectroscopic ellipsometry, the fixed incidence angle at $70^{circ}$. This ellipsometer does not demand calibration, because the plane of incidence is not changed due to the novel sample holder structure. The results for various standard samples were compared with those from conventional RCSE to test the performance of this instrument. Also repeated measurements were performed to test the precision of the calibration coefficient in a plane of incidence fixed.