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Cr2O<Sub>3 후막의 암모니아 가스 감지 특성
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  • Cr2O<Sub>3 후막의 암모니아 가스 감지 특성
저자명
조철형,박기철,마대영,김정규,Cho. Chul-Hyung,Park. Ki-Cheol,Ma. Tae-Young,Kim. Jeong-Gyoo
간행물명
센서학회지
권/호정보
2004년|13권 6호|pp.424-429 (6 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$Cr_{2}O_{3}$ thick films were fabricated by screen printing method on alumina substrates and annealed at $700^{circ}C$, $800^{circ}C$, and $900^{circ}C$ in air, respectively. Structural properties examined by XRD and SEM showed (116) dominant $Cr_{2}O_{3}$ peak and increased grain sizes with the annealing. The resistance of the films decreased with increasing the annealing temperature. Gas sensing characteristics to $NH_{3}$, CO, $C_{4}H_{10}$, and NO gases showed sensitivity only to $NH_{3}$ gas. $Cr_{2}O_{3}$ thick films annealed at $700^{circ}C$ had the sensitivity of about 15 % for 100 ppm $NH_{3}$ gas at the working temperature of $300^{circ}C$. The thick films had good selectivity to the $NH_{3}$ gas. The response time to $NH_{3}$ gas was about 10 seconds.