기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
집적화된 3 극형 탄소 나노 튜브 전자 방출원의 제작
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 집적화된 3 극형 탄소 나노 튜브 전자 방출원의 제작
저자명
이정아,문승일,이윤희,주병권
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2004년|17권 2호|pp.212-216 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

In this paper, we have fabricated a triode field emitter using carbon nanotubes (CNTs) directly grown by thermal chemical vapor deposition(CVD) method as an electron omission source. Vertically aligned CNTs have been grown in the center of the gate hole, to the size of 1.5 ${mu}{ extrm}{m}$ in diameter, with help of a sacrificial layer of a type generally used in metal tip process. By the method of tilling the substrate, we made CNTs emitters both with and without SiO$_2$layer, a sidewall protector, deposited on sidewall of gate. After that we researched the electrical characteristics about two types of emitters. In effect, a sidewall protector can enhance the electrical characteristics by suppressing the problem of short circuits between the gate and the CNTs. The leakage current of an emitter with a sidewall protector is approximately sevenfold lower than that of an emitter without it at a gate voltage of 100 V.