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Transparent Conducting Zinc-Indium Oxides Thin Films by an Electron Beam Evaporation Method
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  • Transparent Conducting Zinc-Indium Oxides Thin Films by an Electron Beam Evaporation Method
  • Transparent Conducting Zinc-Indium Oxides Thin Films by an Electron Beam Evaporation Method
저자명
Lee. Choon-Ho,Kim. Sun-Il
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2004년|41권 2호|pp.102-105 (4 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

ZnO-In$_2$O$_3$ films were fabricated on Corning 1737 glass substrate by an electron beam evaporation technique and their characteristics were investigated. The composition of ZnO-In$_2$O$_3$ films had a marked effect on the electrical properties of the films. The ZnO-In$_2$O$_3$ films showed superior transparent-conducting characteristics with increase of Zn content. The resistivity and carrier concentration of the film having Zn content of 45 at% are 4.45${ imes}$10$^{-3}$ cm and 3.1${ imes}$10$^{19}$ cm$^{-3}$ , respectively. Also, the transmittance was higher than 80% throughout the visible range. The average roughness of the film was 14.6 $AA$ in terms of root mean square.