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실리콘 공정 및 동 도금 기술을 이용한 탐침형 정보저장장치의 전자기력 미디어 구동기 제작
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  • 실리콘 공정 및 동 도금 기술을 이용한 탐침형 정보저장장치의 전자기력 미디어 구동기 제작
저자명
조진우,이경일,김성현,최영진
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2004년|53권 4호|pp.225-230 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

An electromagnetic actuator has been designed and fabricated for Probe-based data storage applications. The actuator consists of permanent magnets(SmCo) housing and a media Platform which is connected to the Si frame by four couples of Si leaf springs. In order to generate electromagnetic force, Cu coils were electroplated under the media platform. The magnetic field distribution was calculated with 3D Finite Element Method of Maxwell 3D program. The field strength felt by Cu coils was estimated to be about 0.33T when the distance between the media platform and permanent magnets is $200mu extrm{m}$. The static and dynamic motions of the actuator were analyzed by FEM method with ANSYS 5.3. The measured displacements of the actuator were about $pm$$92mu extrm{m}$ for input current of $pm$40㎃ and the resonance frequency was 100Hz. The proposed electromagnetic actuator can be utilized for media driver of probe-based data storage system