- 사각고리형상의 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉 패키징 및 특성 시험
- ㆍ 저자명
- 서영호,김성아,조영호,김근호,부종욱,Seo. Young-Ho,Kim. Seong-A,Cho. Young-Ho,Kim. Geun-Ho,Bu. Jong-Uk
- ㆍ 간행물명
- 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|28권 4호|pp.435-442 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
