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Nd-Yag 레이저 화학증착을 이용한 SiC 로드 성장에 관한 실험적 연구
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  • Nd-Yag 레이저 화학증착을 이용한 SiC 로드 성장에 관한 실험적 연구
저자명
이영림,유재은,Lim. Young,Ryu. Jae-Eun
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2004년|28권 4호|pp.481-488 (8 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Laser chemical vapor deposition can be used as a new approach for a rapid prototyping technique. The purpose of the study is to fabricate several 3-dimensional objects that are relatively simple as well as to find the characteristics of SiC rod growth that is the first step in developing a new rapid prototyping technique with laser chemical vapor deposition. In the study, SiC rods were generated with varying precursor pressure for 5 minutes. Deposition rates with varying precursor pressure, shapes of rods, surface roughness and component organization were investigated, in particular. Finally, several simple objects like a branch or a propeller were successfully fabricated using laser chemical vapor deposition.