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Two-Step 방식을 이용한 수직자기 기록용 Co-Cr-Ta 박막의 제작
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  • Two-Step 방식을 이용한 수직자기 기록용 Co-Cr-Ta 박막의 제작
저자명
박원효,공석현,제우성,최형욱,박용서,김경환
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2004년|17권 7호|pp.793-796 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In order to improve c-axis crystalline orientation and high perpendicular coercivity of deposited ${Co}_77{Cr}_20{Ta}_3$perpendicualr recording layer, Two step method was investigated using a Facing Targets Sputtering System(FTS). The </TEX>${Delta heta}_50$</TEX> of ${Co}_77{Cr}_20{Ta}_3$recording layer deposited on seedlayer prepared at Room Temperature was as low as $5^circ$, while that of the recording layer without seedlayer was about 11$^{circ}$. The Two-Step method using ${Co}_77{Cr}_20{Ta}_3$seedlayer prepared at Room Temperature was shown to be very effective in controling the c-axis orientation of ${Co}_77{Cr}_20{Ta}_3$ recording layer with thin thickness.