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다중 디스펜싱 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피
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저자명
심영석,손현기,신영재,이응숙,정준호
간행물명
제어·자동화·시스템공학 논문지
권/호정보
2004년|10권 7호|pp.604-610 (7 pages)
발행정보
제어로봇시스템학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Ultraviolet-nanoimprint lithography (UV-NIL) is a promising method for cost-effectively defining nanoscale structures at room temperature and low pressure. Since the resolution of transferred nanostructures depends strongly upon that of nanostamps, the nanostamp fabrication technology is a key technology to UV-NIL. In this paper, a $5 imes5 imes0.09$ in. quartz stamp whose critical dimension is 377 nm was fabricated using the etching process in which a Cr film was employed as a hard mask for transferring nanostructures onto the quartz plate. To effectively apply the fabricated 5-in. stamp to UV-NIL on a 4-in. Si wafer, we have proposed a new UV-NIL process using a multi-dispensing method as a way to supply resist on a wafer. Experiments have shown that the multi-dispensing method can enable UV-NIL using a large-area stamp.