- 나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용
- ㆍ 저자명
- 김강현,김규태
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|17권 6호|pp.17-21 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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1948년 J. Bardeen 등에 의해 발명된 게르마늄 트랜지스터 이래로 반도체 공업은 숨 가쁘게 발전하여 현재는 $0.1mu extrm{m}$ 수준의 크기를 지나 $0.01mu extrm{m}$ 수준의 트랜지스터까지도 시연되고 있다［1,2］. 집적회로의 발전에는 대면적의 식각기술의 뒷받침과 끝임 없는 소재의 개발이 그 밑바탕이 되고 있어 앞으로의 발전에 있어서도 패턴닝 기술과 소재 기술은 다음 세대에도 반도체 산업발전의 원동력이 될 것임을 짐작해 볼 수 있다. (중략)