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졸겔법으로 제조된 Tb-doped PZT 박막의 강유전 특성
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  • 졸겔법으로 제조된 Tb-doped PZT 박막의 강유전 특성
저자명
손영훈,김경태,김창일
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2004년|17권 9호|pp.947-952 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Tb-doped lead zirconate titanate(Pb(Zr$\_$0.6/,Ti$\_$0.4/)O$_3$; PZT) thin films on Pt(111)/Ti/SiO$_2$/Si(100) substrates were fabricated by the sol-gel method. The effect on the structural and electrical properties of films measured according to Tb content. The dielectric and ferroelectric properties of Tb-doped PZT thin films were altered significantly by Tb-doping. The PZT thin film with higher dielectric constant and improved leakage current characteristic was obtained by adding 0.3 mol% Tb. The relative dielectric constant and the dielectric loss of the 0.3 mol% Tb-doped PZT thin film were 1611 and 0.024, respectively. Typical value of the swichable remanent poaraization(2Pr) and the coercive filed of the PZT film capacitor for 0.3 mol% Tb-doped were 61.4 ${mu}$C/cm$^2$ and 61.9 kV/cm, respectively. Tb-doped PZT thin films showed improved fatigue characteristics comparing to the undoped PZT thin film.