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광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀄츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm 급 니켈 스탬퍼의 제작
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  • 광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀄츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm 급 니켈 스탬퍼의 제작
저자명
서영호,최두선,이준형,제태진,황경현,Seo. Young-Ho,Choi. Doo-Sun,Lee. Joon-Hyoung,Je. Tae-Jin,Whang. Kyung-Hyun
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2004년|28권 11호|pp.1794-1798 (5 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We present a fabrication method of high aspect ratio 100nm-scale nickel stamper using e-beam writing for the injection molding of optical grating patterns. Conventional nickel stamper is fabricated by nickel electroplating process which is followed by seed layer deposition. In this paper, we have used chrome coated blank mask without anti-reflection layer of CrON in order to simplified electroplating process. In experimental study, we have optimized electron-beam dosage for 100nm-scale optical grating patterns with 2.5-aspect ratio, and fabricated nickel stamper using above grating patterns as PR mold. Fabricated nickel stamper have showed height of 240$pm$20nm and width of 116$pm$6nm.