- 광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀄츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm 급 니켈 스탬퍼의 제작
- ㆍ 저자명
- 서영호,최두선,이준형,제태진,황경현,Seo. Young-Ho,Choi. Doo-Sun,Lee. Joon-Hyoung,Je. Tae-Jin,Whang. Kyung-Hyun
- ㆍ 간행물명
- 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|28권 11호|pp.1794-1798 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
