- 나노 임프린팅 장비 기술
- ㆍ 저자명
- 이재종,최기봉,김기홍
- ㆍ 간행물명
- 기계저널 : 大韓機械學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|44권 12호|pp.39-44 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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이 글에서는 국내외 나노 임프린팅 장비의 기술개발 동향과 개발되고 있는 대표적인 나노 임프린팅 장비를 소개하고, 향후 선폭 10nm 수준의 다중 임프린팅 장비를 개발하여 나노제품의 스마트, 저비용, 고생산성의 목표로 개발되고 있는 나노 임프린팅 장비의 기술을 소개하고자 한다.