- 고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 김진택,백병준,이철로,박복춘,Kim. Jin-Taek,Baek. Byung-Joon,Lee. Cheul-Ro,Pak. Bock-Choon
- ㆍ 간행물명
- 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|28권 12호|pp.1632-1639 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
