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Error Compensation of Laser Interferometer for Measuring Displacement Using the Kalman Filter
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  • Error Compensation of Laser Interferometer for Measuring Displacement Using the Kalman Filter
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저자명
Park. Tong-Jin,Lee. Yong-Woo,Wang. Young-Yong,Han. Chang-Soo,Lee. Nak-Ku,Lee. Hyung-Wok,Choi. Tae-Hoon,Na. Kyung-Whan
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2004년|3권 2호|pp.41-46 (6 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper proposes a robust discrete time Kalman filter (RDKF) for the dynamic compensation of nonlinearity in a homodyne laser interferometer for high-precision displacement measurement and in real-time. The interferometer system is modeled to reduce the calculation of the estimator. A regulator is applied to improve the robustness of the system. An estimator based on dynamic modeling and a zero regulator of the system was designed by the authors of this study. For real measurement, the experimental results show that the proposed interferometer system can be applied to high precision displacement measurement in real-time.