- Error Compensation of Laser Interferometer for Measuring Displacement Using the Kalman Filter
- Error Compensation of Laser Interferometer for Measuring Displacement Using the Kalman Filter
- ㆍ 저자명
- Park. Tong-Jin,Lee. Yong-Woo,Wang. Young-Yong,Han. Chang-Soo,Lee. Nak-Ku,Lee. Hyung-Wok,Choi. Tae-Hoon,Na. Kyung-Whan
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|3권 2호|pp.41-46 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
