기존의 선형 이송 시스템은 구동원으로 서보 모터를 사용하고 있다. 서보 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하기 위해서는 기계적인 동력전달 장치가 필요하며, 이는 위치 오차의 발생이나 주기적인 시스템의 유지보수의 필요성 등의 문제점을 야기한다. 본 논문에서는 단위 체적당 추력비가 기존의 모터에 비해 우수한 횡축형 선형전동기를 이용하여 LCD 공정에 사용되는 인덱서(indexer) 시스템의 선형 추진부에 적용하는 연구를 수행하였다. 실험결과 횡축형 선형전동기는 가속능력, 최대속도 및 위치결정 정밀도 등에서 인덱서 시스템에 적용하기에 적합한 것을 검증하였다.
The servo motor is used for the driving power source of the conventional linear conveyor system. The mechanical power transfer system is needed for converting the circular to the linear operation. But this system causes some problems of position error, the necessity of the periodical maintenance. In this paper the study on application of transverse flux linear motor(TFLM) is carried out for the indexer system of LCD processing because TFLM has much thrust per a volume than the conventional motor. TFLM is suitable system for the indexer system because of capacity of acceleration, maximum speed and precision of the position, etc.
