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이온플레이팅법으로 제조된 TiAlLaN계 박막의 산화속도
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  • 이온플레이팅법으로 제조된 TiAlLaN계 박막의 산화속도
저자명
서성만,이기선,이기안,Seo. Sung Man,Lee. Kee Sun,Lee. Kee-Ahn
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2004년|14권 3호|pp.163-167 (5 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

TiAl(La)N thin films were oxidized in vacuum of about 7 Pa to reduce the oxidation of WC-Co as a substrate. The oxidation rate constants of the thin films were quantified by an assumption of parabolic oxidation. Increasing AI content significantly decreased the parabolic oxidation rate constant. A simultaneous addition of AI and La was more effective to reduce the oxidation rate. The parabolic oxidation rate constant of $Ti_{0.66}$ $Al_{0.32}$ $La_{ 0.02}$N thin film at 1273 K showed about ten times lower than that of TiN. The addition of a small amount of La with Al induced the preferential formation of dense $alpha$ $-Al_2$$O_3$ film in oxide film, leading to the abrupt reduction of oxidation rate.