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초소형 전자칼럼의 제작 및 특성 연구
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저자명
안승준,김대욱,김영철,안성준,김영정,김호섭,Ahn. S,Kim. D. W,Kim. Y. C,Ahn. S. J,Kim. Y. J,Kim. H. S
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2004년|14권 3호|pp.186-190 (5 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

An electron beam microcolumn composed of an electron emitter, micro lenses, scan deflector, and focus lenses have been fabricated and tested in the STEM mode. In this paper, we report a technique of precisely aligning the electron lenses by the laser diffraction patterns instead of the conventional alignment method based on aligner and STM. STEM images of a standard Cu-grid were observed using a fabricated microcolumn under both the retarding and accelerating modes.