본 연구는 [Pd(0.8 nm)/Co(0.8 nm)]$_{5}$FeMn(15 nm)구조의 다층박막을 dc마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 교환결합된 수직자기이방성에 대한 자기적 특성을 조사하였다. [Pd/Co]다층막과 FeMn 층 사이에 Pd층을 얇게 삽입함으로서 교환바이어스 세기(exchange biasing field : H$_{ex}$)가 127 Oe에서 145 Oe로 개선된 길과를 얻었다. 하지만 열적안정성 실험 결과 삽입층이 삽입 된 경우 삽입되지 않은 경우 보다 약 5$0^{circ}C$낮은 20$0^{circ}C$ 에서부터 감소하는 결과를 얻었다. 바닥층 물질에 따른 H$_{ex}$와 보자력 (coercivity : H$_{c}$)의 변화를 조사한 결과, H$_{ex}$는 바닥층이 Ta그리고 Pd인 경우, 각각 최대 127Oe, 169Oe를 얻었다. 반면, H$_{c}$는 바닥층이 Ta그리고 Pd층인 경우, 각각 최대 203 Oe, 453 Oe를 얻었다.를 얻었다.얻었다.
Magnetic properties by exchange biased perpendicular magnetic anisotropy in [Pd(0.8 nm)/Co(0.8 nm)]$_{5}$/FeMn(15 nm) multilayers deposited by dc magnetron sputtering system are investigated. As inserted Pd layer of interface between [Pd/Co] multilayer and FeMn film, the Hex of perpendicular anisotropy was improved from 127 Oe to 145 Oe. But result of an experiment by thermal stability, the Hex of the case that an inserted layer was inserted in decreased from low 20$0^{circ}C$ in about 5$0^{circ}C$ more if not inserted. If Ta was a buffer layer, the experiment results along material of buffer layer, the H$_{ex}$ obtained the largest 127 Oe. And if Pd was a buffer layer, H$_{ex}$ obtained the largest 169 Oe. Also, the Hc in buffer layer of Ta and Pd obtained the largest 203 Oe and 453 Oe, respectively.y.ely.
