- Miscut된 기판을 이용할 산화물 박막의 에피 성장
- ㆍ 저자명
- 부상돈,Bu. Sang Don
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|13권 4호|pp.145-149 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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RF magnetron sputtering 방법으로 miscut된 기판을 이용해서 양질의 압전 산화물 에피 박막을 제작하였다. 박막은 (001) $SrTiO_3$ 기판 위에 증착되었으며, (100) 방향으로 $0^{circ}$-$8^{circ}$의 miscut 각도를 갖는 기판들을 사용했다. $4^{circ}$이상의 큰 miscut 각도를 갖는 기판 위에 성장된 박막의 경우, x-ray diffraction (XRD) 패턴은 perovskite 상의 순수한 PMN-PT 피크만을 보여 주었으며, wavelength dispersive x-ray fluorescence spectroscopy를 이용해서 분석한 조성비는 stoichiometric한 조성비에 가까운 값을 보여주었다. 반면에, miscut 각도가 없는 기판 위에 증착된 박막의 경우, 2차상인 pyrochlore 상을 포함하는 XRD 패턴을 보여주었다. $8^{circ}$ 기판 위에 성장된 박막의 경우 실온에서 20$mu$C/$ extrm{cm}^2$라는 높은 잔류분극 값을 보여주었다
We have grown piezoelectric oxide films by RF magnetron sputtering using miscut substrates. Films were Brown on(001) $SrTiO_3$ substrates with miscut angles from 0 to 8 degrees toward the (100) direction. Films on high miscut substrates (>$4^{circ}$) showed almost the pure perovskite phase in x-ray diffraction and were nearly stoichiometric. In contrast, films on exact (001) $SrTiO_3$ contained a high volume fraction of pyrochlore phases. A film on an $8^{circ}$ miscut substrate exhibits a polarization hysteresis loop with a remnent polarization of 20$mu$C/$ extrm{cm}^2$ at room temperature.