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PE-ALD를 이용한 SnO2 Thin Film의 특성
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  • PE-ALD를 이용한 SnO2 Thin Film의 특성
저자명
박용주,이운영,최용국,이현규,박진성,Park. Yongju,Lee. Woonyoung,Choi. Yongkook,Lee. Hyunkyu,Park. Jinseong
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2004년|14권 12호|pp.840-845 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Tin dioxide ($SnO_2$) thin films were prepared on Si(100) substrate by PE-ALD using the $DBDTA((CH_{3}CO_2)_{2}Sn[(CH_2)_{3}CH_3]_2)$ Precursor. The properties were studied as a function of source temperature, substrate temperature, and purging time. Scanning probe microscopic images at the source temperature $50^{circ}C$ and the substrate temperature $300^{circ}C$ shows lower roughness than those $40/60^{circ}C$ source and $200/400^{circ}C$ substrate temperature samples. The purging time for optimum process was 8sec and the deposition rate was about 1 nm per 10 cycles. The conductance of $SnO_2$ thin film showed a constant region in the range of $200^{circ}C;to;500^{circ}C$. The thin films deposited for 200 cycle show a better sensitivity to CO gas.