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감습 고분자막이 코팅된 수정미소저울 습도센서 제작 및 특성연구
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  • 감습 고분자막이 코팅된 수정미소저울 습도센서 제작 및 특성연구
저자명
권수용,김종철,최병일,남현수,Kwon. Su-Yong,Kim. Jong-Chul,Choi. Byung-Il,Nham. Hyun-Soo
간행물명
센서학회지
권/호정보
2005년|14권 6호|pp.395-401 (7 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A highly stable quartz crystal microbalance (QCM) that showed a stability of frequencies and exhibited a very low noise level has been developed. The long-term drift was <0.05 Hz/h over a period of 10 h, and the short-term rms (root mean square) noise was <0.015 Hz. Our QCM sensor was used as a humidity sensor employing a poly(methyl methacrylate) (PMMA) polymer film as a hygroscopic layer, which showed good characteristics in the relative humidity (RH) range of $2{sim}90%$ RH. Comparing the characteristics of the QCM sensor with those of other types of humidity sensors employing PMMA film as a hygroscopic layer, and with other QCM sensors employing other hygroscopic layers is represented.