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Laser Direct Writing 방법을 이용한 광도파로 제작
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  • Laser Direct Writing 방법을 이용한 광도파로 제작
  • Fabrication of waveguide using UV Ar-ion laser direct writing
저자명
강희신,서정,이제훈,김정오,Kang. H. S.,Suh. J.,Lee. J. H.,Kim. J. O.
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2005년|8권 1호|pp.9-18 (10 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The laser direct writing method using a UV Argon-ion laser is studied for fabrication of waveguide. The laser direct writing system is constructed with a vision camera, a xy-stage, a motion controller and the delivery components of a laser beam. The UV Argon-ion laser has wavelength range of $333.6~363.8$ nm. A photo-active UV curable polymer for a planar light-wave circuit(PLC) of single mode is used. This polymer is irradiated by Argon-ion laser and developed by a solvent after a post-baking. The optimum laser direct writing condition is obtained experimentally by changing various process parameters such as laser power, writing speed and focal length. The propagation and coupling loss of a optical waveguide was measured as 1dB/cm and 0.6dB/cm, respectively. Also, the minimum width of waveguide of $100{mu}m$(ZPLW-207) is obtained. Finally, the waveguides of line, bend and branch type are successfully fabricated.