- 나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션
- ㆍ 저자명
- 김광섭,김경웅,강지훈,Kim. Kwang-Seop,Kim. Kyung-Woong,Kang. Ji-Hoon
- ㆍ 간행물명
- 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|29권 6호|pp.852-859 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
