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기능성 고분자막을 이용한 반도체 공정 세정액의 분리정제특성 (I)
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  • 기능성 고분자막을 이용한 반도체 공정 세정액의 분리정제특성 (I)
저자명
이재달,홍영기,노덕길,배기서,Lee. Jae-Dal,Hong. Young-Ki,Ro. Duck-Kil,Bae. Kie-Seo
간행물명
韓國染色加工學會誌
권/호정보
2005년|17권 3호|pp.34-42 (9 pages)
발행정보
한국염색가공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this work, a practical separation performance was investigated on aqueous alcohol solutions, especially for iso-propyl alcohol (IPA), which is usually used during the semi- conductor rinsing process. The removal of various substances from waste aqueous IPA solutions was carried out by microfiltration with $0.1~1{mu}$m pore size of mean diameter as a pre-filter. Permeability and molecular weight cut-off of the functional polysulfone(PSf) ultrafiltration membrane to purify waste aqueous IPA solutions were measured through the ultrafiltration test. The solute rejection of PSf membrane had $92\%$ in 1,000ppm aqueous PEG solution with PEG molecular weight 10,000, the molecular weight cut-off had 10,000. The IPA concentration on the $CMPA-K^+$ membrane performance using pervaporation module system could be increased from $95.04 wt\%$ to more than $98.50wt\%$ in about 9hr at operation temperature of $70^{circ}C$ using the pervaporation module system.